(株)京葉真空テクノ

㈱京葉真空テクノ

アルミ真空蒸着とは

真空中で物質に膜を付ける方法で、アクリル樹脂やアルミなどさまざまな素材や電子部品などの
小さいものから建材など大きなものまで加工できるクリーンで環境にやさしい技術です。

真空蒸着法

真空技術の中でも金属などを材料の表面に析出させる方法「メッキ」の目的で用いられる真空蒸着法とはいかなる工法でしょうか。「真空状態で原料を熱により蒸発させ、気体分子となった状態で基板に衝突させ、付着する」方法です。

真空蒸着法の長所

アルミ真空蒸着作業風景1μm未満の極薄い膜厚においてもムラ無く、更に微妙な膜圧コントロールができる点にあります。これは加熱により蒸発源から放射状に真空中へ飛び出し気化した(固体→液体→気体)分子・原子が基板に衝突し堆積され、一様な金属膜が形成されるからです。
基板に衝突した分子だけが成膜されるため、蒸発源に面した部分は付着しますが、その裏側は蒸着の影響を全く受けません。
またクリーンな環境で人体にもやさしく、基板自体を液体にも浸さず、電にも通す必要がないのが特徴です。しかしその他の真空技術に比べ、分子エネルギーが弱いので、付着力は弱いとされています。よってトップコートの塗布により硬化処理を行います。  

この真空蒸着法で必要な真空とは高真空(大気圧の1億~100億分の1)の世界です。しかしそれでも実際は残留気体分子(窒素、酸素、水素、水など)が漂っています。
より高い真空度が必要な理由としては、
①蒸着源から飛び出した分子・原子が基板にたどり着く前に、気体分子により散らされない(衝突を防ぐ)ようしたいから。 ②また漂っている残留気体分子が基板に衝突する際に、蒸着膜に取り込まれる数を減らしたいから です。

当社ではこのような真空蒸着法に基づき、蒸着金属としてアルミニウム、基板としてメタクリル樹脂等を用いて、反射鏡の鏡面などの製造をしております。